晶圆机械手(Wafer Handling Robot,简称WHR),是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，通常采用精密的机械结构和先进的控制系统，以确保对晶圆的精准抓取、定位和移动。其工作原理通常基于先进的运动学和控制理论，通过计算机编程完成复杂的动作，包括定位、抓取和移动晶圆。在实际操作中，机械手会根据传感器的反馈信息实时调整其运动路径和动作，以适应各种生产要求。晶圆机械手广泛应用于半导体制造的多个环节，如清洗、刻蚀、光刻、扩散、沉积、装配、包装和测试等。此外，它在显示器制造和太阳能产业中也扮演着重要角色。在显示器制造中，晶圆机械手用于液晶显示屏(LCD)和有机发光二极管(OLED)的生产；在太阳能产业中，它被广泛应用于太阳能电池片的生产。晶圆机械手相关专利在申请量上表现出明显趋势特征，并在申请人，申请国家以及主分类号上表现出明显的集中特征。
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