半导体设备零部件行业深度:乘国产替代之东风,各路厂商百家争.pdf

零部件间接推动半导体产业迭代升级

摩尔定律推动半导体行业迭代进步,而半导体设备是延续摩尔定律的关键。半导体制造工业需要数百道工序,数十种设备来构建其生产流程。在芯片的数百层的结构中,每一层都要经历”沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀、离子注入、去胶”等重要步骤。这些半导体设备决定了芯片的制程、性能、功耗等关键参数。而半导体设备的生产能力又是由零部件保障的。可以说,半导体设备零部件是整个半导体行业的“基石”。

半导体设备和零部件产业链上游是材料厂、零部件厂,中游是设备厂,下游是晶圆厂。

零部件既包括设备厂生产集成模组或系统需要采购的硬件,也包括晶圆厂生产芯片需要采购的耗材。考虑到半导体设备厂通常倾向于采取轻资产的模式来运营,其大部分关键技术都需要物化在精密零部件上,或以精密零部件为载体形式来实现。先进芯片制造依赖于高端设备,高端设备依赖于高精尖的零部件。零部件的精度、洁净度、质量等关键参数决定了半导体设备的性能。和普通工业设备相比,半导体设备在原材料的纯度、耐腐蚀性、耐击穿电压性、表面的光滑度、洁净度等参数上都提出了更高的要求。事实上,半导体设备的升级迭代很大程度上就是依赖于其精密零部件技术的突破。

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